7500円(税別)。2002年初版1刷。澤田 廉士、羽根一博、日暮栄治共著。
中古。【旧所有者印あり】。【表紙裏のページに書き込みあり】。表紙裏表紙に傷み汚れあり。他に書き込みや目立つ汚れなど無し(出品前に一通り確認していますが、見逃しがございましたらご容赦下さい)。。

出版社紹介文
 マイクロマシン関係の研究者技術者、情報、電気電子、通信、精密・制御などの大学学部・大学院生などの方々にお勧め 
 光マイクロマシンの基礎から応用まで、すべてを解説
 いろいろな産業分野でマイクロマシンが注目され、実用化の時代に入りつつあり、研究者や実務技術者、学生もマイクロマシンに対する関心が高まっている。
 本書は、光マイクロマシンの基礎的な事項から具体的技術、最新の応用まで、全体が理解できるよう解説した。

 

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梱包について
ビニールと封筒で梱包します。
緩衝材での梱包をご希望の場合は110円ご負担お願いします(送料が変わる場合があります)。

 

もくじ

1部 光マイクロマシン
1章 光スイッチ,ミラーアレイ,減衰器
 GLV,MARSスイッチ,DMD応用スイッチなどオンオフMEMSスイッチ／RIEのみで作成したスイッチ／ファイバ,導波路駆動スイッチ／
 3Dおよびマトリックスミラーアレイスイッチ／レンズ駆動スイッチ／Siステージスイッチ／マッハ・ツェンダー干渉応用スイッチ／
 バブル移動スイッチ／一軸回転ミラー／エバネッセント結合スイッチ／可変光減衰器／その他のMEMSスイッチ／自己保持力と消費電力
2章 ディスプレイ,スキャナ
 DMD／GLV応用ディスプレイ／TMA／ミラースキャナ
3章 スペクトロメータ,波長可変光学素子
 エタロン応用マイクロ分光装置／フーリエ変換分光応用マイクロ分光装置／回折格子応用マイクロ分光装置／波長可変レーザ,フォトダイオード
4章 アクチュエータ,可動構造体
 平行平板電極間静電気力,くし型電極アクチュエータ／EDLAエンジン／スプリング,梁の共振周波数,ばね定数,共振型ミラー／
 光アクチュエータ／液体移動／その他のアクチュエータ／可動構造,自己構築アクチュエータ
5章 センシングとセンサ
 微小変位の計測／ドップラー,血流量計測／加速度センサ／ボロメータ／生体計測／生物のセンサ／光励起振動子／光ファイバセンサ／
 微小信号検出／信号処理／光学膜厚,距離計測／その他の計測
6章 顕微鏡
 光学顕微鏡／走査型プローブ顕微鏡
7章 記憶装置
 光ピックアップの小型化／光プローブ以外の大容量記録／機構部の位置決め制御／機構部のマイクロマシン化／スーパレンズ／
 光導波路型ホログラフィ
8章 光マイクロマシンの設計とシミュレーション
 クロスコネクトスイッチ／光学解析例／GLVの例／ミラー制御

 

2部 光マイクロマシン光学
1章 光の反射・屈折
 光の数学的取り扱いと基本的事項／偏光／反射と屈折／散乱／損失
2章 干渉
 2光束干渉／ファブリ－・ペロー干渉計／屈折率変化による波長可変デバイス／外部共振型半導体レーザ／金属膜での反射光と透過光／
 マッハ・ツェンダー干渉計／マイケルソン干渉計／広域波長光源を用いた干渉法
3章 回折
 回折現象と回折格子の働き／様々な回折格子・回折の数学的取り扱いと回折光制御,回折効率
4章 フリースペース光学
 ガウシアンビーム光学／非回折ビーム／MEMSによる波面制御
5章 光放射圧
 光トラッピングの原理／レーザマニピュレーション／レーザ冷却
6章 近接場光学
 全反射とエバネッセント波／近接場光学の応用／表面プラズモン

3部 材料,ファブリケーションとパッケージング
1章 光学素子
 光素子／ファイバ,光導波路／マイクロレンズ／相互作用／下地基板／Si結晶基板および転位／反り／結晶ガラス
2章 ファブリケーション
 全般的なプロセス／フォトリソグラフィ／膜堆積技術／導波路構造の作製／エッチング／3次元加工／その他の加工法
3章 表面理工学
 表面電荷の影響／スティッキング／MEMSにおける吸着力／ファンデルワールス力／はく離
4章 パッケージング
 光コネクタ／表面実装／ボンディング／スルーホール電極／MEMSデバイス封止

付録
 光マイクロマシン／製造プロセス